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The Mercury1500V是Mercury数字输出编码器生产线最新产品。传感器输出数字信号适合于很高的抗电磁干扰。输出的分辨率达到1E-8托0.5微米。
新的 Mercury 1500V数字输出编码器可用于线性或选择性真空设备的最小高性能编码器。1E-8托传感器配有真空兼容材料,可以48小时在150°C工作。
Mercury1500V直接从传感器生成A-夸德-B和零位窗口输出。所有电路都在一个仅8.4mm高的容器内。低Z向高传感器使M1500V套件编码器适用于半导体加工设备运动平台设计。电子显微镜检查和其他需要真空的设备也受益于Mercury1500V的小尺寸和高性能。
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体积小,价格低的Mercury1500V会减少你的运动平台的成本和体积,而提高其性能。可用分辨率……
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